Name: Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques de Springer(Springer) (en Inglés)
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Author: Shul R. J.,Pearton S. J.

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portada Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques de Springer(Springer) (en Inglés)

Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques de Springer(Springer) (en Inglés)

Formato

Libro Físico

Editorial

Springer

Autor

Shul R. J.,Pearton S. J.

Idioma

Inglés

N° páginas

672

Encuadernación

Tapa Blanda

ISBN13

9783642630965

Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques de Springer(Springer) (en Inglés)

Shul R. J.,Pearton S. J. (Autor) · Springer · Tapa Blanda

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The ability to make small features in Si, metals, dielectrics and other materials is what has enabled rapid advances in computing, communications, aeronautics and all other technologies that depend on microelectronics, miniature sensors and actuators and magnetic data storage. Plasma techniques enable the fine control and accurate pattern transfer and thus are central to our technology age.