Name: Silicon Semiconductor Technology: Processing and Integration of Microelectronic Devices (en Inglés)
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Author: Hilleringmann Ulrich

portada Silicon Semiconductor Technology: Processing and Integration of Microelectronic Devices (en Inglés)

Silicon Semiconductor Technology: Processing and Integration of Microelectronic Devices (en Inglés)

Formato

Libro Físico

Editorial

Springer Vieweg

Autor

Hilleringmann Ulrich

Idioma

Inglés

N° páginas

264

Encuadernación

Tapa Blanda

ISBN13

9783658410407

N° edición

Silicon Semiconductor Technology: Processing and Integration of Microelectronic Devices (en Inglés)

Hilleringmann Ulrich (Autor) · Springer Vieweg · Tapa Blanda

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Reseña del libro "Silicon Semiconductor Technology: Processing and Integration of Microelectronic Devices (en Inglés)"

The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for microelectronic circuit integration in silicon. Interaction and influences of e. g. oxidation, etching, doping and thermal processes for integrating CMOS- and Bipolar circuits are discussed in detail, beginning with the purification of silicon up to the encapsulated integrated circuit. It includes modern processes like atomic layer deposition and etching for nanoscale structures and compares improvements like silicide contacts, copper metallization, high-k dielectrics, and SOI and FINFET structures. All processes are presented looking from the process engineer's view.