Name: doping engineering for front-end processing: volume 1070 (en Inglés)
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Author: Pawlak, B. J. ; Pelaz, M. L. ; Law, M.
ISBN: 9781605110400

portada doping engineering for front-end processing: volume 1070 (en Inglés)

doping engineering for front-end processing: volume 1070 (en Inglés)

Formato

Libro Físico

Ilustrado por

B. J. Pawlak

M. L. Pelaz

M. Law

Editorial

Cambridge University Press

Autor

Pawlak, B. J. ; Pelaz, M. L. ; Law, M.

Año

2008

Idioma

Inglés

N° páginas

319

Encuadernación

Tapa Dura

Dimensiones

23.4x16x2.3 cm

Peso

0.57 kg.

ISBN

160511040x

ISBN13

9781605110400

Categorías

Ciencia de materiales
Dispositivos y materiales electrónicos

doping engineering for front-end processing: volume 1070 (en Inglés)

B. J. Pawlak (Ilustrado por) · M. L. Pelaz (Ilustrado por) · M. Law (Ilustrado por) · Cambridge University Press · Tapa Dura

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Reseña del libro "doping engineering for front-end processing: volume 1070 (en Inglés)"

Materials scientists, silicon technologists and TCAD researchers come together in this book to share experimental results and physical models, discuss achievements and challenges, and identify key issues for future research in this field. The volume focuses on many aspects related to doping of semiconductors (Si, SiGe and Ge) for device fabrication, and explores areas for single-gate as well as multi-gate devices with planar and vertical architectures. Surface properties, coverage, bonding saturation and passivation, and annealing ambient are also discussed.