Name: modeling of microfabrication systems (en Inglés)
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Author: nassar,dai

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portada modeling of microfabrication systems (en Inglés)

modeling of microfabrication systems (en Inglés)

Formato

Libro Físico

Editorial

Springer

Autor

nassar,dai

Idioma

Inglés

N° páginas

269

ISBN

3540002529

ISBN13

9783540002529

Categorías

Sistemas numéricos

modeling of microfabrication systems (en Inglés)

Nassar,Dai (Autor) · Springer · Libro Físico

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Reseña del libro "modeling of microfabrication systems (en Inglés)"

this book addresses modeling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. selected topics are ion beam micromachining, x-ray lithography, laser chemical vapor deposition, photopolymerization, laser ablation, and thin films. models simulating the behavior of these systems are presented, graphically illustrated, and discussed in the light of experimental results. knowledge gained from such models is essential for system operation and optimization. this book is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology. it will be invaluable to scientists, engineers, graduate students, and manufacturers engaged in research and development for enhancing the accuracy and precision of microfabrication systems for commercial applications.