Name: Silicon Micromachining Paperback (Cambridge Studies in Semiconductor Physics and Microelectronic Engineering) (en Inglés)
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Author: M. Elwenspoek

portada Silicon Micromachining Paperback (Cambridge Studies in Semiconductor Physics and Microelectronic Engineering) (en Inglés)

Silicon Micromachining Paperback (Cambridge Studies in Semiconductor Physics and Microelectronic Engineering) (en Inglés)

Formato

Libro Físico

Editorial

Cambridge University Press

Autor

M. Elwenspoek

Año

2004

Idioma

Inglés

N° páginas

420

Encuadernación

Tapa Blanda

ISBN

0521607671

ISBN13

9780521607674

Categorías

Ingeniería eléctrica

Silicon Micromachining Paperback (Cambridge Studies in Semiconductor Physics and Microelectronic Engineering) (en Inglés)

M. Elwenspoek (Autor) · Cambridge University Press · Tapa Blanda

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Reseña del libro "Silicon Micromachining Paperback (Cambridge Studies in Semiconductor Physics and Microelectronic Engineering) (en Inglés)"

This comprehensive book provides an overview of the key techniques used in the fabrication of micron-scale structures in silicon. Recent advances in these techniques have made it possible to create a new generation of microsystem devices, such as microsensors, accelerometers, micropumps, and miniature robots. The authors underpin the discussion of each technique with a brief review of the fundamental physical and chemical principles involved. They pay particular attention to methods such as isotropic and anisotropic wet chemical etching, wafer bonding, reactive ion etching, and surface micromachining. There is a special section on bulk micromachining, and the authors also discuss release mechanisms for movable microstructures. The book is a blend of detailed experimental and theoretical material, and will be of great interest to graduate students and researchers in electrical engineering and materials science whose work involves the study of micro-electromechanical systems (MEMS).