Name: Surface Metrology for Micro- and Nanofabrication (Micro & Nano Technologies) (en Inglés)
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Author: Wei Gao

portada Surface Metrology for Micro- and Nanofabrication (Micro & Nano Technologies) (en Inglés)

Surface Metrology for Micro- and Nanofabrication (Micro & Nano Technologies) (en Inglés)

Formato

Libro Físico

Editorial

Elsevier

Autor

Wei Gao

Año

2020

Idioma

Inglés

N° páginas

448

Encuadernación

Tapa Blanda

ISBN13

9780128178508

N° edición

Categorías

Ciencia de materiales

Surface Metrology for Micro- and Nanofabrication (Micro & Nano Technologies) (en Inglés)

Wei Gao (Autor) · Elsevier · Tapa Blanda

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Reseña del libro "Surface Metrology for Micro- and Nanofabrication (Micro & Nano Technologies) (en Inglés)"

Surface Metrology for Micro- and Nanofabrication presents state-of-the-art measurement technologies for surface metrology in fabrication of micro- and nanodevices or components. This includes the newest general-purpose scanning probe microscopes, and both contact and non-contact surface profilers. In addition, the book outlines characterization and calibration techniques, as well as in-situ, on-machine, and in-process measurements for micro- and nanofabrication.Provides materials scientists and engineers with an informed overview of the state-of-the-art in surface metrology Helps readers select and design the optimized surface metrology systems and carry out proper surface metrology practices in the fabrication of micro/nano-devices and componentsAssesses the best techniques for repairing micro-defects