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aluminum nitride thin films - deposition for fabrication, characterization and fabrication of surfac
Charlee Fansler (Autor)
·
unknown
· Libro Físico
aluminum nitride thin films - deposition for fabrication, characterization and fabrication of surfac - charlee fansler
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Reseña del libro "aluminum nitride thin films - deposition for fabrication, characterization and fabrication of surfac"
aluminum nitride (aln) thin films can be used for many device applications; for example, surface acoustic wave (saw) devices, microelectromechanical systems (mems) applications, and packaging applications. in this work, aln is the critical layer in th ...
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