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integrated modeling of chemical mechanical planarization for sub-micron ic fabrication:: from particle scale to feature, die and wafer scales (en Inglés)
Luo, Jianfeng (Autor)
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· Libro Físico
integrated modeling of chemical mechanical planarization for sub-micron ic fabrication:: from particle scale to feature, die and wafer scales (en Inglés) - luo, jianfeng
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